Lapisan epitaksi berasal dari kata dasar lapisan.
Lapis semipenghantar yang memiliki kiblat hablur yang sama seperti substrat tempatnya tumbuh.
Menurut Kamus Besar Bahasa Indonesia (KBBI), arti lapisan epitaksi adalah lapis semipenghantar yang memiliki kiblat hablur yang sama seperti substrat tempatnya tumbuh.