Epitaksi memiliki arti dalam bidang ilmu fisika.
Epitaksi memiliki arti dalam kelas nomina atau kata benda sehingga epitaksi dapat menyatakan nama dari seseorang, tempat, atau semua benda dan segala yang dibendakan.
Pertumbuhan suatu hablur pada permukaan hablur lain yang berfungsi sebagai substrat sehingga pertumbuhan itu diorientasikan oleh struktur substrat itu.
Menurut Kamus Besar Bahasa Indonesia (KBBI), arti kata epitaksi adalah pertumbuhan suatu hablur pada permukaan hablur lain yang berfungsi sebagai substrat sehingga pertumbuhan itu diorientasikan oleh struktur substrat itu. Epitaksi memiliki arti dalam bidang ilmu fisika.