Distilasi hampa berasal dari kata dasar distilasi.
Distilasi yang dilakukan dengan menurunkan tekanan dalam reaktor sehingga distilasi dapat berlangsung pada suhu yang relatif rendah.
Menurut Kamus Besar Bahasa Indonesia (KBBI), arti distilasi hampa adalah distilasi yang dilakukan dengan menurunkan tekanan dalam reaktor sehingga distilasi dapat berlangsung pada suhu yang relatif rendah.