Mikroskop elektron berasal dari kata dasar mikroskop.
Perkakas optik elektron yang di dalamnya sorotan elektron diarahkan pada layar pijar atau pelat fotografis dengan menggunakan lensa elektron untuk menghasilkan gambar benda kecil yang diperbesar.
Menurut Kamus Besar Bahasa Indonesia (KBBI), arti mikroskop elektron adalah perkakas optik elektron yang di dalamnya sorotan elektron diarahkan pada layar pijar atau pelat fotografis dengan menggunakan lensa elektron untuk menghasilkan gambar benda kecil yang diperbesar.